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自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

產(chǎn)品簡介

自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P17。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力2D和3D測量,掃描可達200mm無需圖像拼接。結(jié)合UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,有出色測量穩(wěn)定性。

產(chǎn)品型號:P17
更新時間:2024-06-17
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2384
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品牌其他品牌價格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類別進口
應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,航空航天,綜合

一、自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀的功能

    通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學系統(tǒng)以及光學變焦相機等功能,程序設置簡便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可支持2D或3D測量。 圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。

  設備特點

   臺階高度:幾納米至1000μm

   微力恒力控制:0.03至50mg

   樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

   視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機

   圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

   軟件:簡單易用的軟件界面

   生產(chǎn)能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

   主要應用

   臺階高度:2D和3D臺階高度

   紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

   形狀:2D和3D翹曲和形狀

   應力:2D和3D薄膜應力

   缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌

   工業(yè)應用

   半導體和化合物半導體

   LED:發(fā)光二極管

   太陽能

   MEMS:微機電系統(tǒng)

   數(shù)據(jù)存儲

   汽車

   醫(yī)療設備

  二、應用案例

   臺階高度

   P-17可以提供納米級到1000μm的2D和3D臺階高度的測量。 這使其能夠量化在蝕刻,濺射,SIMS,沉積,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-17具有恒力控制功能,無論臺階高度如何都可以動態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。這保證了良好的測量穩(wěn)定性并且能夠精確測量諸如光刻膠等軟性材料。

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紋理:粗糙度和波紋度

   自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P-17提供2D和3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。

 

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外形:翹曲和形狀

   P-17可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如半導體或化合物半導體器件生產(chǎn)中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導致這種翹曲的原因。P-17還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構高度和曲率半徑。

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應力:2D和3D薄膜應力

   P-17能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產(chǎn)生的應力。使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲。 然后通過應用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。2D應力通過在直徑達200mm的樣品上通過單次掃描測量,無需圖像拼接。3D應力的測量采用多個2D掃描,并結(jié)合θ平臺在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對整個樣品表面進行測量。

 

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缺陷復檢

   缺陷復查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌。 缺陷檢測設備找出缺陷并將其位置坐標寫入KLARF文件。 “缺陷復檢”功能讀取KLARF文件、對準樣本,并允許用戶選擇缺陷進行2D或3D測量。

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