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Product Center
  • P7晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀

    P-7晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀保持了P-17技術(shù)的測量性能,并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了好的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看, P-7具有較好的測量重復(fù)性。

    更新時(shí)間:2024-06-17
    產(chǎn)品型號(hào):P7
    瀏覽量:4882
  • D-600Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀

    KLA先進(jìn)的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600,帶有電動(dòng)載物臺(tái)??蓽y量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。這種Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀有著可選的3D輪廓分析功能。

    更新時(shí)間:2024-06-17
    產(chǎn)品型號(hào):D-600
    瀏覽量:2858
  • Nanofocus μSurf白光共軛焦輪廓儀

    產(chǎn)品類型:白光、共軛焦、非接觸 μSurf結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類似斷層攝影方式,精確量測物體高度(如下圖所示)。 由于使用了共軛焦的方法,在測量漸變較大的高度時(shí),跟其他同類公司產(chǎn)品使用較多的干涉法相比,可以精確量測物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

    更新時(shí)間:2024-06-17
    產(chǎn)品型號(hào):Nanofocus μSurf
    瀏覽量:2132
  • NanoFocus μScan激光掃描輪廓儀

    μScan采用模塊化設(shè)計(jì),特點(diǎn)是快速測量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化,μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器,(Z方向測量)連用,如Confocal point sensor、Autofocus sensor、 Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。

    更新時(shí)間:2024-06-17
    產(chǎn)品型號(hào):NanoFocus μScan
    瀏覽量:2000
  • μScanNanoFocus μScan(激光掃描輪廓儀)

    AF2 自動(dòng)對(duì)焦(Autofocus) 借由探測器的回饋訊號(hào)調(diào)整物鏡位置,得到待測物焦點(diǎn),而獲得待測物的確實(shí)高度(如下左圖)。 CF4 共軛焦(Confocal, Laser) 激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測物上,此時(shí)偵測器能經(jīng)由孔洞得到Z大光的強(qiáng)度,如此偵測器根據(jù)此訊號(hào)確定其位置

    更新時(shí)間:2024-06-17
    產(chǎn)品型號(hào):μScan
    瀏覽量:2332
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